11th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics
24-28 May 2015 IGESA, Porquerolles Island, Hyères, Var (France)
Comparison between boron atoms density measured by OES, LIF and resonance absorption techniques in a H2/CH4/B2H6 micro-wave plasma
Xavier Aubert  1, *, @  , Nader Sadeghi  2, 3, @  , Corinne Duluard  1, @  , Cathy Rond  1, @  , Alix Gicquel  1, @  
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux  (LSPM)  -  Website
CNRS : UPR3407
Université Paris 13, Campus de Villetaneuse, 99 avenue Jean-baptiste Clément, 93430 Villetaneuse -  France
2 : Laboratoire des technologies de la microélectronique  (LTM)
CNRS : UMR5129, Université Joseph Fourier - Grenoble I
LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 -  France
3 : Laboratoire Interdisciplinaire de Physique  (LIPhy)
Université Joseph Fourier - Grenoble I, CNRS : UMR5588
* : Corresponding author
Subject : : Poster
Topics : Poster
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