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Measuring IVDF through high-aspect holes in pulsed ICP plasmas
1 : Laboratoire des Technologies de la Microélectronique
(LTM)
universit�osph Fourier, CNRS : UMR5129
17 rue des Martyrs 38054 Grenoble -
France
| Subject : | : | Oral presentation |
| Topics | : | Topical lecture |
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