11th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics
24-28 May 2015 IGESA, Porquerolles Island, Hyères, Var (France)
Spatio-temporal dynamics of excited species and electrons in a pulsed argon microwave discharge
Emile Carbone  1, 2, *, @  , Nader Sadeghi  3, 2, @  , Erik Vos  4  , Simon Hübner  4  , Eddie Van Veldhuizen  4  , Sander Nijdam  4  , Gerrit Kroesen  4  
1 : Ruhr-Universität Bochum  -  Website
Universitätsstraße 150 44801 Bochum Germany -  Germany
2 : Laboratoire des technologies de la microélectronique  (LTM)
CNRS : UMR5129, Université Joseph Fourier - Grenoble I
LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 -  France
3 : Laboratoire Interdisciplinaire de Physique  (LIPhy)
Université Joseph Fourier - Grenoble I, CNRS : UMR5588
4 : Eindhoven University of Technology
* : Corresponding author
Subject : : Oral presentation
Topics : Topical lecture
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