11th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics
24-28 May 2015 IGESA, Porquerolles Island, Hyères, Var (France)
Diagnostics in pulsed Hydrogen Plasmas
Jérôme Dubois  1, @  , Gilles Cunge  1, @  , Maxime Darnon  1, @  , Nicolas Posseme  2, @  , Laurent Vallier  1, @  , Olivier Joubert  1, @  
1 : Laboratoire des technologies de la microélectronique  (LTM)
CNRS : UMR5129, Université Joseph Fourier - Grenoble I
LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 -  France
2 : Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information  (LETI)  -  Website
CEA
MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 -  France
Subject : : Oral presentation
Topics : Poster
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