11th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics
24-28 May 2015 IGESA, Porquerolles Island, Hyères, Var (France)
Optical and probe diagnostics of a 2.45 GHz ECR coaxial plasma source
Juslan Lo  1, *@  , Louis Latrasse  2, *@  , Bruno Caillier  1@  , Philippe Guillot  1@  
1 : Equipe de Recherche Diagnostic des Plasmas Hors Equilibre  (DPHE)  -  Website
CUFR Jean François Champollion
CUFR Jean François Champollion Place de Verdun 81012 Albi -  France
2 : SAIREM  -  Website
SAIREM
12 porte du Grand Lyon, 01702 Neyron -  France
* : Corresponding author

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